打响民族品牌 领跑国内集成电路硅材料产业

来源: 资讯中心编辑: 日期: 19.04.15

  2018年12月29日,工业和信息化部(工信厅【2018】426号)发文,吕氏贵宾会集团黄河企业被选入存储器“一条龙应用计划,快闪存储器、动态随机访问存储器上游材料特种气体和晶硅材料”的示范企业,正在实施的《2500吨/年电子级多晶硅工艺优化改进项目》,已完成技术储备计划实施的《用于芯片硅外延制造的三氯氢硅产业化》项目被评为示范项目。

  黄河企业及其晶硅材料和特种气体两个项目同时入选示范企业和示范项目名单,也是吕氏贵宾会集团和青海省唯一入选的企业和项目,将获得国家的重点支撑。

  多晶硅材料作为集成电路基础材料的最前端,生产技术和市场一直被国外垄断。2010年,吕氏贵宾会集团黄河企业建成年产2500吨电子级多晶硅项目,采用世界上先进、成熟的改良西门子法电子级多晶硅生产工艺,技术先进、成熟、可靠。产品通过CZ 或FZ 法等技术制成单晶并切片后,可制成6 英寸、8 英寸、12 英寸不等的半导体硅片,继而用于制作半导体器件或集成电路,是存储器“一条龙”产业链的上游基础材料。

  2014年,依托已经建成的电子级多晶硅生产线,黄河企业承担了《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》(02专项)电子级多晶硅材料研发,于2015年12月完成专项攻关,产品质量达到国外主要电子级多晶硅生产企业质量标准,填补了国内半导体应用材料国产化的空白。

  目前,国内用于集成电路产业的电子级多晶硅85%依赖进口。黄河企业生产的电子级多晶硅产品质量超过GB/T12963-2014 电子1级多晶硅要求,产品成功通过下游企业12 英寸半导体单晶硅片试制、测试、评估,成为国内第一家完成12 英寸硅片验证的企业。电子级多晶硅连续4年销售量超过百吨,国内市场占有率已达到11%,成功打破了国外垄断,摆脱了我国集成电路产业关键集成原材料受制于人的局面,提高了集成电路产业上游关键基础材料的战略安全,保障了包括存储器在内的集成电路产业链发展。

  2012年,获得CNAS检测和校准实验室资质认可,允许使用CNAS认可标识;2013年成为符合工信部《光伏制造行业规范条件》的首批企业;2014年,成功申报国家科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》(02专项)半导体级多晶硅材料研发项目,目前产品质量已经达到02专项全部要求;2014年7月,与浙江金瑞泓科技股份有限企业签订长期合作框架协议,成为目前国内唯一一家实现半导体级多晶硅材料销售且产品应用于集成电路行业的多晶硅企业;2015年入围“2015年(首届)中国电子材料50强企业”。

  黄河企业还率先在国内建立了一套完整的满足SEMI标准的电子级多晶硅产品检测标准、指标体系和检测质量控制流程,拥有目前国内唯一按照国际半导体材料与设备协会(SEMI)标准配置的多晶硅检测实验室,为青海省成为国内重要的集成电路硅材料产业基地奠定了基础,真正实现了中国制造,打响了民族品牌。

  黄河企业在不断推动产品升级的同时,始终秉承着“绿色发展、循环发展”的理念,实现节能低耗、安全环保。利用国内首套完整的冷氢化技术,实现了产线中的副产物的循环利用,冷氢化四氯化硅转化率达到国内最高水平,还原炉回收尾气经处理后达到电子级多晶硅生产要求,实现完全闭路循环,实现环保降耗。

  黄河企业还积极开发高纯三氯氢硅生产及提纯技术,特种气体三氯氢硅的各项技术指标均可满足集成电路外延硅片用要求。

  硅外延片是存储器制造的重要原材料,在硅外延片的制造过程中,高纯电子特种气体三氯氢硅可作为主要原料,通过化学气相沉积法在单晶衬底上生长一层外延层。三氯氢硅在硅外延片制造过程中,具有生长速率快、使用安全的特性,在硅外延片制造领域有着广泛的应用。

  本项目三氯氢硅特种气体的研究应用,与存储器制造的上游原材料—芯片硅外延制造有着直接的关联,是存储器“一条龙”产业链不可或缺的重要环节。

  当前和今后一段时期是我国集成电路产业发展的重要战略机遇期和攻坚期。黄河企业将继续致力于“黄河水电多晶硅”核心技术研发和质量提升,以创新驱动引领未来发展,努力将国内电子级多晶硅市场占有率提升至30%以上,力争成为全国重要的集成电路材料生产基地和行业领军企业。

拓展阅读:电子级多晶硅项目

     黄河企业多晶硅产能2500吨/年,在国内集成电路用多晶硅市场占有率约11%,是国内唯一一家量产并批量销售电子级多晶硅的企业。承担国家科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》(02专项)半导体级多晶硅材料研发项目,打破了中国电子级多晶硅完全依赖进口的局面。

黄河企业获得工信部2018年工业强基工程重点产品、工艺“一条龙”应用计划示范企业,“电子级高纯多晶硅工艺系统升级改进项目”和“用于芯片硅外延制造的三氯氢硅产业化研究”被纳入2018年工业强基工程存储器“一条龙”应用计划示范项目。

 

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